现代供电网络日趋庞大,彼此间的电磁耦合紧密,系统故障点引起的电压扰动往往会波及更大范围的用电负载。电力系统经常因为短路等不可预防的故障引发电压暂降问题。而在半导体行业中,芯片制造工艺复杂,芯片中电路的制作需层层叠代、环环相扣,芯片从硅圆片上线加工到芯片封装销售,整个过程将近上百道工序,一道工序的加工失误均会导致整个晶圆片的报废。
在半导体行业中的敏感负载有:厂务排风系统(洁净室)、PCW工艺水、UPW超纯水系统;光刻机;离子注入机;刻蚀机;机台控制系统等。这些系统或负载遇到电压暂降之后,会受到不同程度的影响;严重时会导致整条生产线所生产的芯片报废,给企业带来很大的经济损失。
电压暂降的危害是生产流程中断造成的直接经济损失,还会出现成品率降低、延迟交货、和设备寿命的降低;晃电事故严重的话,时还会影响企业在客户心中的信誉度,从而导致的客户流失等。
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